装置説明|Equipment and Technology

クリーンルーム

クリーンルーム設計・施工

クリーンルーム全般の企画・設計・施工。

クリーンエア装置

エアーシャワー、クリーンベンチ、クリーンブース、フィルタユニット等。

保管・搬送システム

クリーンルーム内における保管・搬送システム。

超純水製造・排水処理装置

クリーンルームへの純水・超純水供給および排水処理装置。

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